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HYDAC傳感器工作原理是什么 ?
HYDAC傳感器是一種將被測(cè)件上的應(yīng)變變化轉(zhuǎn)換成為一種電信號(hào)的敏感器件。電阻應(yīng)變片應(yīng)用多的是金屬電阻應(yīng)變片和半導(dǎo)體應(yīng)變片兩種。通常是將應(yīng)變片通過特殊的粘和劑緊密的粘合在產(chǎn)生力學(xué)應(yīng)變基體上,當(dāng)基體受力發(fā)生應(yīng)力變化時(shí),電阻應(yīng)變片也一起產(chǎn)生形變,使應(yīng)變片的阻值發(fā)生改變,從而使加在電阻上的電壓發(fā)生變化。一般這種應(yīng)變片都組成應(yīng)變電橋,并通過后續(xù)的儀表放大器進(jìn)行放大,再傳輸給處理電路(通常是A/D 轉(zhuǎn)換和CPU )顯示或執(zhí)行機(jī)構(gòu)。
HYDAC傳感器中主要的壓電材料包括有石英、酒石酸鉀鈉和磷酸二氫胺。其中石英(二氧化硅)是一種天然晶體,壓電效應(yīng)就是在這種晶體中發(fā)現(xiàn)的,在一定的溫度范圍之內(nèi),壓電性質(zhì)一直存在,但溫度超過這個(gè)范圍之后,壓電性質(zhì)*消失(這個(gè)高溫就是所謂的 “居里點(diǎn)”)。由于隨著應(yīng)力的變化電場(chǎng)變化微小(也就說壓電系數(shù)比較低),所以石英逐漸被其他的壓電晶體所替代。
HYDAC傳感器不可以應(yīng)用在靜態(tài)的測(cè)量當(dāng)中,原因是受到外力作用后的電荷,當(dāng)回路有無(wú)限大的輸入抗阻的時(shí)候,才可以得以保存下來。但是實(shí)際上并不是這樣的。因此壓電傳感器只可以應(yīng)用在動(dòng)態(tài)的測(cè)量當(dāng)中。它主要的壓電材料是:磷酸二氫胺、酒石酸鉀鈉和石英。壓電效應(yīng)就是在石英上發(fā)現(xiàn)的。
當(dāng)應(yīng)力發(fā)生變化的時(shí)候,電場(chǎng)的變化很小很小,其他的一些壓電晶體就會(huì)替代石英。酒石酸鉀鈉,它是具有很大的壓電系數(shù)和壓電靈敏度的,但是,它只可以在室內(nèi)的濕度和溫度都比較低的地方。磷酸二氫胺是一種人造晶體,它可以在很高的濕度和很高的溫度的環(huán)境中,所以,它的應(yīng)用是非常廣泛的。隨著技術(shù)的發(fā)展,壓電效應(yīng)也已經(jīng)在多晶體上得到應(yīng)用了。例如:壓電陶瓷,鈮鎂酸壓電陶瓷、鈮酸鹽系壓電陶瓷和鈦酸鋇壓電陶瓷等等都包括在內(nèi)。
以壓電效應(yīng)為工作原理的傳感器,是機(jī)電轉(zhuǎn)換式和自發(fā)電式傳感器。它的敏感元件是用壓電的材料制作而成的,而當(dāng)壓電材料受到外力作用的時(shí)候,它的表面會(huì)形成電荷,電荷會(huì)通過電荷放大器、測(cè)量電路的放大以及變換阻抗以后,就會(huì)被轉(zhuǎn)換成為與所受到的外力成正比關(guān)系的電量輸出。它是用來測(cè)量力以及可以轉(zhuǎn)換成為力的非電物理量,例如:
加速度和壓力。它有很多:重量較輕、工作可靠、結(jié)構(gòu)很簡(jiǎn)單、信噪比很高、靈敏度很高以及信頻寬等等。但是它也存在著某些缺點(diǎn):有部分電壓材料忌潮濕,因此需要采取一系列的防潮措施,而輸出電流的響應(yīng)又比較差,那就要電荷放大器或者高輸入阻抗電路來彌補(bǔ)這個(gè)缺點(diǎn),讓儀器更好地工作。
HYDAC傳感器壓阻效應(yīng)是用來描述材料在受到機(jī)械式應(yīng)力下所產(chǎn)生的電阻變化。不同于上述壓電效應(yīng),壓阻效應(yīng)只產(chǎn)生阻抗變化,并不會(huì)產(chǎn)生電荷。
大多數(shù)金屬材料與半導(dǎo)體材料都被發(fā)現(xiàn)具有壓阻效應(yīng)。其中半導(dǎo)體材料中的壓阻效應(yīng)遠(yuǎn)大于金屬。由于硅是現(xiàn)今集成電路的主要,以硅制作而成的壓阻性元件的應(yīng)用就變得非常有意義。的電阻變化不單是來自與應(yīng)力有關(guān)的幾何形變,而且也來自材料本身與應(yīng)力相關(guān)的電阻,這使得其程度因子大于金屬數(shù)百倍之多。N型硅的電阻變化主要是由于其三個(gè)導(dǎo)帶谷對(duì)的位移所造成不同遷移率的導(dǎo)帶谷間的載子重新分布,進(jìn)而使得電子在不同流動(dòng)方向上的遷移率發(fā)生改變。其是由于來自與導(dǎo)帶谷形狀的改變相關(guān)的等效質(zhì)量(effective mass)的變化。在P型硅中,此現(xiàn)象變得更復(fù)雜,而且也導(dǎo)致等效質(zhì)量改變及電洞轉(zhuǎn)換。
HYDAC傳感器一般通過引線接入惠斯登電橋中。平時(shí)敏感芯體沒有外加壓力作用,電橋處于平衡狀態(tài)(稱為零位),當(dāng)傳感器受壓后芯片電阻發(fā)生變化,電橋?qū)⑹テ胶?。若給電橋加一個(gè)恒定電流或電壓電源,電橋?qū)⑤敵雠c壓力對(duì)應(yīng)的電壓信號(hào),這樣HYDAC傳感器的電阻變化通過電橋轉(zhuǎn)換成壓力信號(hào)輸出。電橋檢測(cè)出電阻值的變化,經(jīng)過放大后,再經(jīng)過電壓電流的轉(zhuǎn)換,變換成相應(yīng)的電流信號(hào),該電流信號(hào)通過非線性校正環(huán)路的補(bǔ)償,即產(chǎn)生了輸入電壓成線性對(duì)應(yīng)關(guān)系的4~20mA的標(biāo)準(zhǔn)輸出信號(hào)。
為減小溫度變化對(duì)芯體電阻值的影響,提高測(cè)量精度,壓力傳感器都采用溫度補(bǔ)償措施使其零點(diǎn)漂移、靈敏度、線性度、穩(wěn)定性等技術(shù)指標(biāo)保持較高水平。
HYDAC傳感器是一種利用電容作為敏感元件,將被測(cè)壓力轉(zhuǎn)換成電容值改變的壓力傳感器。這種壓力傳感器一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個(gè)電極,當(dāng)薄膜感受壓力而變形時(shí),薄膜與固定電極之間形成的電容量發(fā)生變化,通過測(cè)量電路即可輸出與電壓成一定關(guān)系的電信號(hào)。電容式壓力傳感器屬于極距變化型電容式傳感器,可分為單電容式壓力傳感器和差動(dòng)電容式壓力傳感器。